Учёные ВГУ создали новый материал для микроэлектроники

Учёные ВГУ создали новый материал для микроэлектроники

Сотрудники химического факультета Воронежского государственного университета реализуют проект «Разработка полифункциональных органических добавок для процессов химического и электрохимического осаждения металлов и сплавов, применяемых в электронной промышленности». Его основной целью является решение задач, актуальных для предприятий микроэлектроники Воронежской области и других регионов.

Члены научно-исследовательского коллектива Лаборатории органических добавок для процессов химического и электрохимического осаждения металлов и сплавов, применяемых в электронной промышленности, получили патент Российской Федерации на изобретение «Применение бис(4-R-2-аминофенил)дисульфида в качестве выравнивателя в растворе для химического осаждения никель-фосфорных покрытий».

В разработке приняли участие доктор химических наук, профессор Хидмет Шихалиев, доктор химических наук, доцент Олег Козадёров, кандидаты химических наук: Надежда СоцкаяВладимир ПоликарчукЕвгения КошелеваЛюдмила Юденкова и аспирант Матвей Деркачёв. Учёные разработали новый состав раствора для химического никелирования, обеспечивающий стабильность электролита и получение равномерных покрытий с низкой степенью шероховатости и высокой коррозионной стойкостью. Добиться такого эффекта позволяет применение эффективных полифункциональных органических добавок ряда бис(4-R-2-аминофенил)дисульфидов.

 

Химическое никелирование – процесс осаждения на различные материалы никелевого покрытия с небольшим содержанием фосфора без применения электрического тока, что позволяет наносить его не только на металлы, но и на диэлектрические материалы. Процесс химического никелирования позволяет осаждать покрытия равномерной толщины с отклонениями не более 10% на деталях сложной конфигурации. Варьируя составом электролита, можно получать покрытия с различными свойствами.

– Изобретение создано в рамках проекта, инициированного индустриальным партнёром, в частности, НИИМЭ, и поддержанного Минобрнауки РФ в рамках госзадания. Для предприятий решаются разные задачи. Большинство из них связано с разработкой электролитов для нанесения слоёв металлов в результате химического или электрохимического осаждения с заданными свойствами покрытия. Данное изобретение отражает состав электролита для химического никелирования, в котором использованы новые органические добавки, улучшающие стабильность электролита и коррозионную стойкость покрытия, а также снижающие шероховатость поверхности. Новизна и практическая значимость изобретения обусловлена применением новых органических добавок в составе электролита, – рассказала Надежда Столповская, доцент кафедры органической химии ВГУ, кандидат химических наук.

Научный коллектив продолжает свою работу в области поиска новых эффективных органических добавок в электролиты химического никелирования, а также в электролиты электрохимического меднения, в том числе для реализации технологий TSV. Важным направлением исследований является не только поиск составов электролитов, но и отработка оптимальных режимов для нанесения металлических покрытий с заданными свойствами.

Лаборатория успешно сотрудничает с НИИ молекулярной электроники, Воронежским заводом полупроводниковых приборов – Сборка, НИИ электронной техники, ВЗПП-Микрон, Зеленоградским нанотехнологическим центром. Эти и другие предприятия отрасли заинтересованы во внедрении полученных результатов.

vsu.ru

Поделиться статьей:

Добавить комментарий